Zwei-Photonen Laserlithografie zur individuellen Herstellung von Normalen für die optische Rauheitsmesstechnik
| Author: | Jörg SeewigORCiD, Matthias EiflerORCiD, Julian Hering, Georg von FreymannORCiD |
|---|---|
| ISBN: | 978-3-96100-109-5 |
| Parent Title (English): | Sächsisches Geometriesymposium 2020 : Tolerierung - Fertigung - Messtechnik - Daten : Tagungsband [Sächsisches Geometriesymposium (2020 : Chemnitz)] |
| Secondary publication (full text): | https://nbn-resolving.org/urn:nbn:de:bsz:ch1-qucosa2-367750 |
| Publisher: | Universitätsverlag Chemnitz |
| Place of publication: | Chemnitz |
| Editor: | Sophie Gröger, Marco Weißgerber |
| Document Type: | Conference Proceeding |
| Language: | English |
| Publication year: | 2020 |
| Year of first Publication: | 2020 |
| Release Date: | 2023/06/27 |
| Page Number: | 9 |
| First Page: | 125 |
| Last Page: | 133 |
| Faculties / Organisational entities: | RPTU in Kaiserslautern / Fachbereich Physik / Optische Technologien und Photonik |
| Open access state: | Grün Open-Access |
| RPTU: | Kaiserslautern |
| Created at the RPTU: | Yes |