Zwei-Photonen Laserlithografie zur individuellen Herstellung von Normalen für die optische Rauheitsmesstechnik
| Verfasser*innenangaben: | Jörg SeewigORCiD, Matthias EiflerORCiD, Julian Hering, Georg von FreymannORCiD |
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| ISBN: | 978-3-96100-109-5 |
| Titel des übergeordneten Werkes (Englisch): | Sächsisches Geometriesymposium 2020 : Tolerierung - Fertigung - Messtechnik - Daten : Tagungsband [Sächsisches Geometriesymposium (2020 : Chemnitz)] |
| Zweitveröffentlichung (Volltext): | https://nbn-resolving.org/urn:nbn:de:bsz:ch1-qucosa2-367750 |
| Verlag: | Universitätsverlag Chemnitz |
| Verlagsort: | Chemnitz |
| Herausgeber*in: | Sophie Gröger, Marco Weißgerber |
| Dokumentart: | Konferenzveröffentlichung |
| Sprache: | Englisch |
| Erscheinungsjahr: | 2020 |
| Jahr der Erstveröffentlichung: | 2020 |
| Datum der Freischaltung: | 27.06.2023 |
| Seitenzahl: | 9 |
| Erste Seite: | 125 |
| Letzte Seite: | 133 |
| Fachbereiche / Organisatorische Einheiten: | RPTU in Kaiserslautern / Fachbereich Physik / Optische Technologien und Photonik |
| Open-Access-Status: | Grün Open-Access |
| RPTU: | Kaiserslautern |
| An der RPTU entstanden: | Ja |